.MCAD 309000000 \  docDocument MmcObject[ d2_graph_format graphData% axisFormat)L)Ltrace2D&&&&&&&&& & & & & &&& dim_formatTmasslengthtimecharge temperature luminosity substance (@NumericalFormatQdii< shpRectVmcDocumentObjectState\ mcPageModelK???m?mcHeaderFooterI@I CHeaderFooterJ@J@J@JMbP?MbP? TextState? 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(typically SiO2)  is thickness of silicon substrate (chip thickness) is thickness of silicon oxide insulating layer between the metal and substrate  is bulk resistivity of substrate in ohm-cm N=number of turns Cmetal = capacitance per square micron7 Io@@@AlA@@@A>yAA@B@Uc AB@@ pAC@@ABAD@@dAClAE@@ACAF@@@AEAG@@@AFAH@@AFAI@@<@AHAJ CVSEqItem EqItem AAAIAK CVSComboItemCVSItem< DCVSOleClientItem ࡱ> Root EntryaB.dK8u@Contents( ") 0di< ixArial2Arial2wxw<T1c$AL@@AH1@XAM@@AEAN@B@U`pAO@@ pAP@@AOAQ@@@APAR@@dAQlAS@@AQ1AT@@APAU@@+@AT@XAV@@AT _n_u_l_l_AW@B@U`pAX@@ pAY@@AXAZ@@@AYA[@@dAZlA\@@AZ2A]@@AYA^@@+@A]@XA_@@A] _n_u_l_l_A`@B@UhxAa@@ pAb@@AaAc@@@AbAd@@dAclAe@@Ac3Af@@AbAg@@+@Af@XAh@@Af _n_u_l_l_Ai@B@U=Aj@@ pAk@@AjAl@@@AkAm@@dAllAn@@Al4Ao@@AkAp@@+@Ao@XAq@@Ao _n_u_l_l_Ar@B@UH[O# As@@ pAt@@AscmAu@B@U`&  Av@@ pAw@@AvAx@@dAwlengthAy@@AwAz@@+@Ay@XA{@@Ay _n_u_l_l_A|@B@U&  A}@@ pA~@@A}cmA@B@U+>8 A@@ pA@@ AA@@dAyA@@AA@@tA1A@@AkA@B@U KA6h A@@ pA@@ 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